国内光刻掩膜版生产厂家大致可分为三类。

第一类提供中低档光刻掩膜版。主要有中科院微电子中心（北京），中国电子科技集团第13所（石家庄）、24所（重庆）、47所（沈阳）、55所（南京）等。其主要设备是二十世纪八十年代美国GCA公司生产的光学制版设备，有图形发生器（GCA3600 patterngenerator）、步进精缩机(GCA3696photorepeater)等。另外，北京微电子中心以及沈阳47所还拥有电子束制版能力，主要设备是ETEC Mebes4700。这些制版厂家的一大缺陷是缺少大型后道自动检测和修补设备，因此对中高端的IC光刻版无法提供全面的质量保证。

第二类提供中高档光刻掩膜版。主要有无锡华润微电子有限公司掩膜工厂，上海凸版光掩膜有限公司（原杜邦）。无锡华润拥有光学制版设备、电子束制版设备、以及KLA自动检测和修补设备，可以提供从低档到中高档的所有光刻掩膜版,堪称中国制版业的中坚力量。上海凸版无光学制版设备，因此无法以低廉的价格提供中低档的光掩膜。

第三类提供高端掩膜版。已有的唯一一家是中芯国际（上海）。另外一家，Photronics(上海）在建。中芯国际的制版能力处于国际先进行列。

事实上，除了上述三类以光学制版设备、电子束制版设备为核心，以提供半导体制造用光刻掩膜版为主的掩膜生产商外，还有一类掩膜生产商，他们主要提供大尺寸掩膜版，用于LCD、TFT、PDP以及IC Lead Frame、Bumping等领域。其主要设备是Heidelberg的激光直写机（LaserWriter）。这一类掩膜生产商集中在深圳，主要有深圳市路维电子有限公司，深圳清溢精密光电有限公司。近年来 他们也涉足小尺寸掩膜版的制作。

在2005年至2007年期间, 清微电子不属于上述任何一类掩膜生产商.基于公司发展连续性方面考虑,我们在网站更新时仍将一段原始介绍保留于下:
    那么，我们清微电子做些什么呢？我们定位于提供有关中低档光刻掩膜版的全方位服务。制作光刻掩膜版的第一步是数据处理。一般而言，掩膜生产厂家要求客户提供GDS格式文件。清微电子提供有关掩膜版制作的前期技术咨询，接受传真草图、CAD文件，帮助客户转换成GDS文件。清微电子可以根据客户的要求，直接提供成品光刻版。其做法是，首先，根据客户的制版要求和特点，选择合适的制版工艺（这一点非常重要，能用光学制版的就不上电子束；有时候一套版中，可以根据每块版的难易程度，选择不同的制版设备甚至不同的制版厂家进行制版，从而降低制版成本，实现制版目标。）然后，进行数据处理；最后，根据各制版单位的制版能力和当前繁忙程度，选择一家（或两家）最合适的单位完成制版。清微电子以其专业精神，以及与国内各制版厂家的良好合作伙伴关系，努力实现国内制版界的资源整合，从而缩短制版周期，降低制版成本。客户制版无庸再仅局限于一家制版公司，而是可以通过清微电子，充分利用多家制版单位的制版能力，从而达到优质、低价、快速制版的目标。我们的服务特别有益于大学、研究所等研究类型的光掩膜需求。

2008年4月, 清微电子制版生产线投产, 现属上述第一类掩膜版生产厂家, 提供2.5",3",4",5",6" 光刻掩膜版. 公司本着全心全意为客户服务的宗旨, 努力为客户提供价廉质优的产品和全面高效的服务. 

关于价格： 这是客户最关心的问题之一。光掩膜与其他一般商品的区别在于光掩膜是根据客户的需要而定制的， 决定价格的因素有图形复杂性、线条精度、制作工艺的复杂性、制版设备的选择以及掩膜版尺寸。因此可以说光掩膜是一版一价。 通常而言，作为参考价格, 2.5"版约530元/块, 4"版约720元/块, 5"版约950元/块。但如果某个制版商报给你的价格是1200元/块4"版,你也不要太奇怪,光掩膜的价格主要是由加工费而不是材料费决定的。因此, 在制版行业, 通常是先看版图及制版要求, 然后给客户报价。 光学制版价格低一些, 电子束制版的价格要高许多，激光直写的价格也不便宜。

清微电子提供普通1：1玻璃铬版: 2.5", 3", 4", 5", 6"。

　

　

Tamarack 142 翻版机

　

　

　

　

　

　

Leitz 掩膜比较仪

　

　

　

　

　

Electromask 251CC

制版设备

　

　

　

　

　

　

超净厂房

　

　

　

　

附：国内掩膜生产商分布图（此图由北京微电子所提供）。